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#111723#卡西欧从前就以机电马达、继电器等电机产物驰名。现在的卡西欧自身就是MEMS的制作商之一，用MEMS的思绪处理传统机器腕表碰到的成绩是卡西欧的特长好戏。以是，PROTREK严厉来讲是一块真正电子表，它的三重感到器的功效也是以电路的状态集成到SoC芯片外面的。

PROTREK外部的传感器元件
依据卡西欧官方供给的材料，第三代“三重感到器”的压力、温度、地磁传感器均应用了MEMS技巧，此中最主要的地磁传感器集成到了一颗芯片外面（SoC），传感器的本体构造和微履行器、信号处置器、把持电路、通信接口和电源等部件通过电路严密的接洽在一同，一次性就能实现数据的收集、处置和传输，并将正确的成果通过表盘上的种种唆使反应给用户，大幅度进步了体系的主动化、智能化程度。

MEMS利用范畴很广，封装应依据现实终端利用请求（如维护性、气密性、散热性等）停止计划。

*花费电子/挪动利用驱动MEMS市场疾速生长，复合年增加率可达13%。
*将来5年通讯和医疗利用增加最快，复合年增加率高达20%。
*产业MEMS利用也不错，复合年增加率为13%。

智妙手机中的MEMS和传感器

*智妙手机中应用到良多MEMS器件，如减速度计、陀螺仪、电子罗盘、压力传感器、硅麦克风、图象传感器、MEMS微镜、BAW滤波器和双工器、射频开关、TCXO振荡器/谐振器等。
*跟着智妙手机出货量的敏捷增加，挪动工业正逐渐转向一个庞杂的遥感平台，而MEMS和传感器是该体系中最主要的一环，每个MEMS器件的增加都是使人印象深入的。
对MEMS封装、组装和测试的影响
*MEMS的封装、组装、测试和校准（包含基底本钱）占全部MEMS模块本钱的35%-60%。
*MEMS封装范例比尺度IC封装更加庞杂，由于MEMS封装须要“System-in-Package”。另外，大少数MEMS封装须要合乎终究利用情况。
*MEMS封装从定制化小批量开展到量产必需尺度化，如许才干保障下降MEMS传感器本钱、实现大量量出货。

MEMS减速度计本钱剖析

花费类减速度计本钱剖析

汽车类减速度计本钱剖析
惯性MEMS封装的技巧演进

MEMS定律正在转变

MEMS麦克风封装的要害因素

MEMS模块封装：要害制作步调

MEMS封装趋向

组合传感器封装开展趋向
通过SOC/SiP组合全部活动传感功效：

MEMS测试先容
MEMS工业的特异性：电学测试+机器测试

MEMS惯性传感器最后阶段的测试和校准

依据IHSMarkit（花费者和挪动装备活动传感器——2017年）的数据，无人机和玩具直升机中MEMS活动传感器（即减速度计、陀螺仪、IMU和压力传感器）的市场至2021年估计将到达约7000万台，而其2018至2021复合年增加率可到达17％。
MEMS传感器对无人机飞翔机能的影响
得益于采取惯性MEMS传感器，无人机可确保其偏向稳固，并可由用户准确把持，乃至可自立飞翔。但是，一些挑衅使无人机体系计划变得非常庞杂，比方机电未完善校准，体系静态可能依据无效载荷而变更，操纵前提可能呈现渐变，或传感器存在偏差。这些挑衅会形成定位处置偏向，并终究致使导航时期的地位偏向，乃至形成无人机生效。
要使无人机超出玩具的范围，高品德MEMS传感器和进步软件相当主要。无人机的惯性丈量单位（IMU）、气压传感器、地磁传感器、利用特定型传感器节点（ASSN）和传感器数据融会的精度对其飞翔机能有着直接和本质的影响。
尺寸限度以及刻薄的情况和操纵前提（如温度变更和振动）将对传感器的请求晋升到新的程度。MEMS传感器必需尽可能防止这些影响，并供给准确、牢靠的丈量。
有多种方式能够实现杰出的飞翔机能：软件算法，如传感器校准和数据融会；机器体系计划，比方增加振动，以及依据无人机制作商本人的请求和需要抉择MEMS传感器。上面就让咱们细心研讨一下MEMS传感器并参考部份示例。
无人机的中心在于其姿势航向参照体系（AHRS），此中包含惯性传感器、磁力计和处置单位。AHRS预算装备定位，比方转动、俯仰和偏航角。传感器偏差（如偏移、敏锐度偏差或热漂移）会致使定位毛病。图1表现了减速度计偏移函数情势的定位偏差（转动、俯仰角），这平日是形成传感器持续偏差的中心本源。比方，仅20mg的减速度计偏移便会致使装备偏向呈现1度偏差。
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